產(chǎn)品介紹：

名     稱：精密旋涂儀HC160

型     號：HC160

應(yīng)   用：精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

產(chǎn)品概述：

　　HC160精密旋涂機被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的，使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
　　靈巧型勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

性能參數(shù)：

• 適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

• 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

• 電源輸入：AC200-230V；

產(chǎn)品特點：

• 設(shè)計緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；

• 5英寸彩色觸屏控制，人機界面；

• 一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計，有效防濺；

• 高級PLC全自動程序控制，可編程；

• 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；

• 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設(shè)計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數(shù)自動保存功能。  

• 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；

• 可設(shè)置用戶密碼保護功能；

• 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

產(chǎn)品外型尺寸：

　　358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

                HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔

        HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤